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100级洁净烤箱的产品特点

    100级洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
特点:
    1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;
    2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
    3.采平面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;
    4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到蕞佳温度控制精度。

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